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¯«®à ®a¨ã ³ÃÑ ¥j¸³®a¨ã ¥é¥j³ÃÑ - ¬ü©_®a¨ã¯«®à¦v«æ× ¥Í²£¤ì¾¹®a¨ã¡B¯«®àײz¤Î¥é¥j®a¨ã¨Ã¦³¯«®àײz¤Î®a¨ãºûתA°È¡C
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«OÀI §ë¸ê²z°] °h¥ð³W¹º ³Ò°h·sÂÂ¨î §ë¸ê«¬°Ó«~ ¤À¬õ«O³æ - ¹Ú·Q±Ò°Êºô ´£¨Ñ¤H¹Ø«OÀI¡G²×¨¹ØÀI¡B²×¨ÂåÀøÀI¡B¨¾ÀùÀI¡B«¤j¯e¯fÀI¡B·N¥~ÀI¡B®È¦æ¥¦wÀI¡B¤À¬õ«O³W¹º¡C¥t¦³²£ª««OÀI¤Î°h¥ð²z°]³W¹º¡C
particle counter, surface particle detector, probe station, Rapid thermal annealing, indoor air quality sensor, ;mapping sensor, leveling sensor, reticle stocker - Þm¸s¬ì§ÞªÑ¥÷¦³¤½¥q ±Mª`©ó¥b¾ÉÅé¡A¥ú¹q¡A·L¾÷¹qµ¥²£·~´£¨Ñ¥Í²£¡AÀË´ú¡A¤ÀªRµ¥³]³Æ¡A»ö¾¹¤Î¯Ó§÷¡C
¾÷±ñªOª÷ ±±¨î½c ¥ÕÅK»s«~ §N«o½c Å@¸n»s§@ ¾÷±ñ¥~´ß»s³y - »õ©÷¾÷±ñªOª÷¼t ±M·~»s³y¾÷±ñªOª÷¡B±±¨î½c¡B¥ÕÅK»s«~¡B§N«o½c¡BÅ@¸n¤Î¦UºØ¾÷±ñ¥~´ß¡C
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¤Æ§©«~ ±½¤ ¤â¤u»¨m - ¶®¼Ö¥d¥Í¤Æ¬ì§Þ¦³¤½¥q »s³y¤Î¥N¤u¦UÃþ¤Æ§©«~¡B¨Åé«O¾i«~¦p±½¤¡BÁy³¡«O¾i«~¡B¤â¤u»¨m¡Kµ¥µ¥¡C
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